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    大面積射頻電漿輔助化學氣相沉積系統製備氫化非晶矽膜作為矽晶鈍化層之研究
    • 化學工程系 /105/ 碩士
    • 研究生: 廖苡良 指導教授:
    • 本研究係在以較大面積(20×20 cm2)之射頻電漿輔助化學氣相沉積系統中,通入矽甲烷原料以不同製程條件於單晶矽表面沉積氫化非晶矽形成異質接合結構。研究重點在探究在此一沉積系統中氫化晶矽的鍍…
    • 點閱:348下載:2

    2

    以矽合金/碳靶之共濺鍍製備碳化矽暨碳化矽磊晶高速化對策模擬之研究
    • 化學工程系 /105/ 碩士
    • 研究生: 熊子賢 指導教授:
    • 本論文分為兩個部分,第一部分目的在探討使用共濺鍍氣相沉積法製備碳化矽薄膜。不同於高溫(1600℃)化學氣相沉積法製備碳化矽薄膜,本研究之重點在於利用矽合金靶材和碳靶在相對低溫的下以不同射頻電漿製程參…
    • 點閱:442下載:1

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    於不同基材上的摻鎵氧化鋅化學氣相沉積成長晶向控制之研究
    • 化學工程系 /105/ 碩士
    • 研究生: 黃蕙琪 指導教授:
    • 本研究目的在於利用化學氣相沉積以低溫製程下分別在玻璃、藍寶石、n型氮化鎵磊晶板以及p型氮化鎵磊晶板成長低電阻率且具有光學散射特性之粗糙表面摻鎵氧化鋅薄膜,以期望取代氧化銦錫作為藍光發光二極體之透明導…
    • 點閱:261下載:1

    4

    矽晶/鍺晶異質接合及晶片黏合技術之研究
    • 化學工程系 /105/ 碩士
    • 研究生: 吳俊諭 指導教授:
    • 本論文乃以發展高效率矽鍺複合晶片太陽能電池製作技術為主題,考量矽晶材料所無法吸收的紅外光波波段,在矽晶之背面串聯鍺晶來吸收此波段能量,最終模式希望製作成的矽晶/鍺晶之異質接合太陽電池,以求達…
    • 點閱:246下載:1

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    電漿沉積氫化非晶矽/鍺薄膜於單晶矽/鍺晶片上的磊晶臨界溫度之研究
    • 化學工程系 /105/ 碩士
    • 研究生: 陳林震 指導教授:
    • 本論文乃以未來世代高效矽晶太陽能電池的技術發展為議題,針對矽 晶以及鍺晶可能製作矽、鍺異質接合,分別以射頻電漿輔助化學氣相沉積法將氫化非晶矽及氫化非晶鍺薄膜沉積於鍺晶及矽晶上,以反射式電子高能…
    • 點閱:325下載:1
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